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반도체 증착 장비는 반도체 소자를 구동하기 위해 필요한 다양한 물질을 통상 1㎛ 이하의 얇은 막(Thin Film)을 웨이퍼 위에 화학적, 물리적 방법으로 절연체, 전도체 등을 증착 하는데 사용하는 장비